Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e.V.

Steckbrief:

Name des Vorhabens:

Investvorhaben R‐IBF‐Forschungsanlage

Zeitraum:

08.05.2024 – 30.06.2027

Förderfähige Gesamtkosten:

1.999.337 €

EU-Betrag:

999.669 €

Ort:

Leipzig

Interventions­kategorie:

004 - Investitionen in Anlagen, darunter auch Forschungsanlagen, in öffentlichen Forschungszentren und Hochschuleinrichtungen mit direktem Bezug zu Forschungs- und Innovationstätigkeiten

Förderrichtlinie:

02415 - EFRE/JTF RL Forschung InfraProNet 2021-2027 – Teil EFRE

Fördergegenstand:

2227 - Geräteausstattungen, Forschungsinfrastruktur

Spezifisches Ziel:

RSO1.1 - Entwicklung und Ausbau der Forschungs- und Innovationskapazitäten und der Einführung fortschrittlicher Technologien

Zweck und Errungenschaft:

Das Vorhaben zielt darauf ab, eine Ionenstrahl-Bearbeitungsplattform zu etablieren, um chemisch-reaktive Prozesse zu erforschen und innovative deterministische Verfahren zur ultrapräzisen Formkorrektur, Ultraglättung bzw. Mikro-, Nanostrukturierung von Oberflächen zu entwickeln („Reactive Ion Beam Figuring“, R-IBF). Dies soll die Anwendung der Ionenstrahltechnologie in Optik, Photonik und Halbleiterfertigung signifikant erweitern.

Fonds:

EFRE