Dresden EFRE

plasway-Technologies GmbH

Steckbrief:

Name des Vorhabens:
Quattro 8
Zeitraum:
20.02.2024 – 31.12.2024
Förderfähige Gesamtkosten:
50.063 €
EU-Betrag:
25.031 €
Ort:
Dresden
Interventions­kategorie:
010 - Forschungs- und Innovationstätigkeiten, darunter auch Vernetzung, in KMU
Förderrichtlinie:
06740 - Gewährung von Innovationsprämien für kleine und mittlere Unternehmen
Fördergegenstand:
13544 - externe FuE-Dienstleistungen
Spezifisches Ziel:
RSO1.1 - Entwicklung und Ausbau der Forschungs- und Innovationskapazitäten und der Einführung fortschrittlicher Technologien
Zweck und Errungenschaft:
Das Projekt Quattro_8 widmet sich der Optimierung der ALE Prozessierung und der Integration der Insitu- PEALD Prozessführung. Es sollen PEALD Abscheidungen mit zusätzlicher Ionenenergien untersucht werden. Ein neues Prozess- und Marktfenster um z.B. den Übergang von amorphen zu (poly) kristallinen Abscheidungen bei nur ca. 100°C entstehen. Finales Ziel ist der elektrische Nachweis der Funktionalität von derartigen Schichten.
Fonds:
EFRE

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