plasway-Technologies GmbH

Steckbrief:

Name des Vorhabens:

Erarbeitung eines Innovationsmanagements im Sinne von Prozess- und Organisationsinnovationen zur Optimierung und Weiterentwicklung einer Kammer bzw. eines Systems zur plasmagestützten Ätzung und Abscheidung von Schichten mit atomarer Genauigkeit.

Zeitraum:

07.01.2024 – 31.10.2026

Förderfähige Gesamtkosten:

77.199 €

EU-Betrag:

46.320 €

Ort:

Dresden

Interventions­kategorie:

146 - Unterstützung für die Anpassung von Arbeitskräften, Unternehmen sowie Unternehmerinnen und Unternehmern an Veränderungen

Förderrichtlinie:

02212 - MINT-Fachkräfteprogramm ESF Plus 2021 bis 2027

Fördergegenstand:

16651 - MINT-Fachkräftebindung

Spezifisches Ziel:

ESO4.4 - Förderung der Anpassung von Arbeitskräften, Unternehmen und Unternehmern an den Wandel, Förderung eines aktiven und gesunden Alterns sowie einer gesunden und angemessenen Arbeitsumgebung, die Gesundheitsrisiken Rechnung trägt;

Zweck und Errungenschaft:

Im Zuge des geplanten Vorhabens soll der Prototyp der Anlage FALP® in Hinblick auf die industrielle Vermarktung optimiert und weiterentwickelt werden. In diesem Zusammenhang wird grundsätzlich für die Firma ein Innovationsmanagement im Sinne von Prozess- oder Organisationsinnovationen erarbeitet. Das finale Ziel ist die vollständige Automatisierung des Tools nach geltenden Semistandards sowie die Anpassung der integrierten Prozessabläufe an die Spezifikationen der marktüblichen Halbleiterproduktionsunternehmen weltweit. Durch wissenschaftlich analysierte Stresstests auf Basis verschiedener Testmuster potentieller Kunden soll zudem das Zusammenspiel der zu integrierender Transport-, Steuerungs-, und Analysesysteme auf 10ms Basis untersucht und überarbeitet werden. Die Analyse findet dabei mit Mitteln der KI-Methoden statt. Damit wird ein neuer nachhaltiger Ansatz zur Nullfehlerqualitätssicherung und einer völlig, neuen datenbasierender Wartungsmethodik erarbeitet. Die Anlage wird somit in einem selbstresilienten Produktionsmodus arbeiten können. Dies wird zu einer signifikanten und nachhaltigen Reduktion der notwendigen Energie und weiteren energetischen Aufwände führen. Damit kann insgesamt ein signifikanter Beitrag zum CO2-Fußabdruck geleistet werden.

Fonds:

ESF